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卯林校准与维修服务

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卯林MFC维修校准服务

产品时间:2023-03-19 02:10:40

简要描述:

我们可以修复半导体行业的主要品牌MFC,包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等 对于Cl2和Br2 MFC,我们建议客户更换新的,我们也可以提供1对1的交换服务。 品牌 型号 Brooks(Unit) GFC...

详细介绍

  我们可以修复半导体行业的主要品牌MFC,包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等
  对于Cl2和Br2 MFC,我们建议客户更换新的,我们也可以提供1对1的交换服务。、


MFC Common Failure/Issue
  • 流量不稳定(Flow unstable/Having Spike)
  • 实际流量偏差超出规格(Actual flow out of SPEC)
  • 流量无法控制 (Flow cannot be controlled)
  • 响应时间延迟 (Flow response time delay)
MFC 服务范围
  • 已修复MFC保修:6个月
  • 耗材更换:O形圈、金属密封、阀门、电气部件
  • MFC内的气体配件和管道清洁(超声波和化学)
  • MFC集成PCB修复
  • 完井测试(功能和泄漏)
MFC服务完成测试
  • MFC内部和外部泄漏测试
  • MFC特定点流量测试
  • MFC设定点流量特定循环测试
  • MFC功能老化测试(10小时)

 


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